本专业设有超大规模集成电路设计和超大规模集成电路测试两个专业方向。具有二级学科“微电子学与固体电子学”硕士学位授予权和“集成电路工程”硕士学位授予权。注重实践教学，建有设备先进的微电子基础实验室、集成电路CAD实验室、基础电路测试实验室。侧重于集成电路设计、测试和系统集成能力的培养，以培养掌握集成电路设计和测试技术的应用型高级专门人才为培养目标。微电子科学与工程专业连续两年考研率在所有专业中名列第一，其中2011届考研率超过40%。本专业的出国率连续多年达到20%。微电子科学与工程专业在两次北京市大学生集成电路设计竞赛中荣获得三等奖及以上奖励70多人次，在全国大学生电子设计竞赛、物理竞赛等国家级竞赛获奖10多人次。